Vacuum carburizing is te ferwaarmjen it workpiece yn fakuüm.As it berikt de temperatuer boppe it kritysk punt, sil bliuwe foar in perioade fan tiid, degass en fuortsmite de okside film, en dan passe yn it suvere carburizing gas foar carburizing en diffusion.De carburizing temperatuer fan fakuüm carburizing is heech, oant 1030 ℃, en de carburizing snelheid is fluch.De oerflakaktiviteit fan carburized dielen wurdt ferbettere troch degassing en deoxidizing.De folgjende diffusion snelheid is te heech.Carburizing en diffusion wurde werhelle en ôfwikseljend útfierd oant de fereaske oerflakkonsintraasje en djipte wurde berikt.
Vacuum carburizing djipte en oerflak konsintraasje kinne wurde kontrolearre;It kin feroarje de metallurgyske eigenskippen fan it oerflak laach fan metalen dielen, en syn effektive carburizing djipte is djipper as de eigentlike carburizing djipte fan oare metoaden.